二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293621163 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 56是一种在微电子产品的製造中，用于光刻的高度精确的掩模对齐器。此对齐器可用于手动和自动生产方桉,为用户提供卓越的准确性、可重复性和灵活性。MICROTEC MA56利用高分辨率数字成像系统对基板上的掩模进行精确对齐和注册。该系统采用远心物镜、可调场透镜和内置错位探测器，结合各种光源，每次都能提供精确的对准结果。自动晶圆处理系统能够快速更换基板并实现高通量生产。KARL SUSS MA-56有几种操作模式，包括矢量扫描、锯齿扫描和迭加校正。矢量扫描模式允许用户准确、快速地对齐模式,而锯齿状扫描模式则允许使用重复的模具大小进行降级对齐。在迭加校正模式下,掩码对齐器能够自动补偿掩码几何中的任何错误,从而减少未对齐。KARL SUSS/MICROTEC MA-56掩模对准器的分辨率为4.5微米，圆形视场直径可达115毫米。它提供2 x 2 mm至200 x 200 mm的模具尺寸范围,最大对准速度为1,000 um/sec。此对齐器结合了直观的用户界面,使其极易使用,并具有许多附加功能,如自动对焦、自动边缘检测、模具自动放大和可变对齐能量设置。KARL SUSS/MICROTEC MA56是用于生产和研究应用的可靠且经济高效的掩模对齐器。它提供卓越的性能、可重复性和灵活性,使用户能够根据其微电子制造需求获得一致的结果。