二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293732395 待售

ID: 293732395
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MA 56 Mask Aligner是一种精密机器,用于微加工技术将图样转移到基板上。掩模对齐器是一种用于将光掩模与基板对齐的工具,在光刻应用中使用受控照明。MICROTEC MA56是一种桌面对齐器,可以处理4-8英寸晶圆和各种其他基材尺寸。KARL SUSS MA-56的核心元件是衍射光学元件,或DOE,一种光束吸入器。该DOE拆分光束,产生不同比例的部分光束,使KARL SUSS/MICROTEC MA56其独特的对准能力。这些部分光束可以进行调制,从而使遮罩在基板上精确对准。另外,KARL SUSS/MICROTEC MA-56设有可调气压室,可用于控制光刻过程中基板的压力。KARL SUSS MA56允许用户控制和选择与对齐和迭加过程相关的各种参数。这些参数可以包括场的大小、光量、光的强度、光的位置、曝光时间等等。这允许用户自定义其流程以适合其各自的任务。MA-56是一个功能强大且高度可配置的工具。它具有提高精度和可重复性的几个功能,例如高分辨率和精细移动功能,以及自动模式对齐和自动掩码对齐器控制。这使得它适合生产和复杂的研究应用。此外,用户友好的界面,LCD触摸屏,允许方便导航的各种功能。MICROTEC MA 56 Mask Aligner配备了一系列功能,是光刻和微加工工艺的最佳工具。它的压电级允许面罩和基板材料的精确对准,而其可调的气压室则允许精确的压力控制。此外,其先进的微处理器驱动系统和用户友好界面在广泛的应用程序和过程类型上提高了模型的准确性和可重复性。
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