二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293740285 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 56是一种最先进的掩模对准工具，用于半导体制造过程中。它由三个主要组成部分组成：对准设备、执行器和微机械手系统。对准单元使用双光学远程读取器检测掩码和晶片上的对准标记。然后根据光学远程阅读器的精度在两者之间产生参考偏移。执行器用于将掩模和晶片移动到它们的相对位置并保持在那里。微型机械手机器由机械手组成，这些机械手将掩模和晶片移动到一个参考系中并固定在那里。实际的特徵大小是由晶圆上用于列印的蒙版决定的，而这种特徵大小也决定了从对齐工具所期望的精度。有了这个特殊的工具，对准精度被引用为1微米或更小，使得它适用于各种各样的设备，从高功率射频，模拟和数字设备。致动器有一个被引用为1.5微米的重复性，使得它适用于线宽在5微米到25微米之间的装置。遮罩对齐器还包括一个照明资产，其光谱泛光灯为7倍，可确保晶圆上的光刻胶层正确曝光。光线是专门针对所使用的面罩量身定制的，具有均匀的紧密光束强度。这种紧密的光束是允许工具与对准模型达到0.5微米以下精度的。MICROTEC MA56还包括晶圆清洁和干燥能力，包括计量能力。它具有完整的盒式到盒式真空操作，并具有可选的Z轴擦拭功能。此外,该工具还配备了自动化测试功能、高达40摄氏度的环境控制、温度和湿度控制、轻损伤保护和冷热卡盘控制。总体而言,KARL SUSS MA-56是一种精确可靠的掩模对准工具.其最先进的组件确保它能够处理从高功率射频设备到数字设计的各种应用。此外，清洁和干燥晶片的能力以及自动化测试能力使KARL SUSS/MICROTEC MA-56先进半导体制造工艺的重要工具。