二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293744976 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 56是光刻工艺中使用的一种先进的光学掩模对准器。它是一种多用途的设备,能够制造各种尺寸、形状和材料的高质量光掩模。它专为各种微电子和半导体工艺的高分辨率、经济高效的掩模对准而设计。该系统使用高级串联步进扫描仪,在200 mm x 200 mm对齐字段上扫描掩码图样,精度为0.02微米。可以动态修改扫描以增加扫描仪的放大倍率或减少读出噪声。MICROTEC MA56分为两个阶段；一个阶段用于对齐,而另一个阶段同时扫描相同的掩码模式。该装置还有一个机载显微镜，能够用数字调制光源观察掩模图样，以便检测甚至最小的缺陷或错位。机器提供了一系列不同的选项，如自动定向补偿和先进的对准工具，以确保可靠和准确的面罩修复或校正。它还具有称为"Alignment- Free"模式的特殊对齐功能，在对齐过程中无需操作员干预。KARL SUSS MA-56工具还具有一套强大的自动化工具,使其能够与MCSX、C++和MATLAB等行业标准编程平台相结合,以便于与现有半导体过程自动化系统集成。资产还支持图像处理、线程和DRC/DFM检查等可选功能，以确保掩模图样的精确定位，以满足半导体器件的精确要求。KARL SUSS/MICROTEC MA56是一个通用平台，可用于所有类型的微电子应用，从多芯片和芯片堆叠，到高分辨率的标线、光电子和晶圆级封装。微电子制造商高度重视它,因为它提供精确的对齐、节省成本和可靠性。