二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293745236 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 56是一种高精度的掩模对齐器，用于许多光刻工艺。该装置采用了具有强光源和高精度XY掩模级的特殊投影光学系统。MICROTEC MA56允许对光掩模进行精确对准和配准,从而确保精确的特征定义和对生成层及后续层的精确对准。KARL SUSS MA-56由三个主要组件组成：掩模级、限制结构和标线。"掩模"级负责精确对齐光掩模,"限制结构"可确保精确的特征定义和后续层的精确对齐。标线用于将光聚焦到掩模上。MICROTEC MA-56先进的光学系统具有精确的聚焦机制和大的发光区。这允许精确的产品定位和小型功能尺寸。此外,KARL SUSS MA56还具有高级自动对齐功能,可轻松设置和精确对齐。与MICROTEC MA 56相关联的先进光刻软件允许多次曝光和晶圆注册选项。该设备的放大倍数可达1600倍,并具有改进的镜头分辨率。KARL SUSS MA 56设有温控级，可改善过程稳定性。KARL SUSS/MICROTEC MA56还提高了特征检测的准确性，使其非常适合甚至最精确的光刻工艺。MA 56的对准精度为+/-0.5微米。MA-56能够进行各种光敏处理，如软烘烤、烘烤、退火和开发。MA56是一个高度可靠的设备，由于其低运行功耗和使用高质量的部件。它能够快速、准确地处理高精度的光掩模。因此，该器件广泛用于集成电路、半导体器件和溷合集成电路的生产。