二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293818127 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 56是一种用于生产微电子系统（MEMS）的自动掩模对准器。它是一个采用集成光学、自动晶片分级、多区供暖制冷的掩模投影系统。它提供了一种精确、可靠的方法来勾勒图样并将其转移到硅基板上。该系统配备了数字掩模图样发生器和高速、高精度物镜，能够产生最小线宽90 nm、最小线距180 nm的图样。MICROTEC MA56能够产生分辨率高达0.5 µm的各种模式。它还具有一个3𝛍的X、Y和θΩ晶片级，在对准过程中精确定位和定向晶片。KARL SUSS MA-56还具有比传统弧光源提供更大亮度和均匀性的高品质光源。这样可以确保精确的对齐和模式转移到基板上。KARL SUSS/MICROTEC MA-56的光学设计包括几个高数值孔径目标，并允许半自动聚焦和重新聚焦。所有图桉都通过稳定的振动补偿光学盒投射到基板上。MICROTEC MA 56提供了广泛的功能,旨在实现自动化、高精度的对齐。它具有自动晶片加载、多区域加热和冷却、对准精度的数字控制以及对工艺参数的全面访问等功能。它还具有复杂晶圆几何的双点配准和局部配准功能。MA-56是高精度、大规模制造MEM系统的理想选择。它提供了一种精确、可重复的方法，可以将图样对齐和转移到基板上，同时提供精确和精确的配准。综合软件套件提供了一种易于使用和灵活的机制，用于控制所有参数，确保可靠的对齐和可重复性。MA56是一种高质量、经济高效的生产高精度口罩的方法,其结果精确、一致。