二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9080239 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 56是一种蒙版对齐器，设计用于光刻应用，如生产半导体器件。它是一种高精度的设备，可以将图样从负片母片快速准确地传输到晶圆。它能够在200毫米和157毫米晶圆尺寸上操作，最小特征尺寸为0.5微米。系统由主机和主机两个主要组件组成。主机是包含遮罩级、光源和光学元件的基本单元。机头安装在主机顶部,由XY级和Z轴驱动器组成,用于在曝光期间控制基板的位置。头部还装有投影光学器件，将母体的图像聚焦在基板上。遮罩台采用真空卡盘作为将底片对准遮罩板的固定机构。它配有显微镜，以确保薄膜的精确对准。照明源包含汞和卤素灯泡，以提供不同波长的光来匹配遮罩材料。XY级允许胶片在基板上进行步骤和重复对齐。它有一个精确度下降到微米，允许用户执行薄膜的精确对准到基板上。投影光学器件是一种高光圈透镜工具，将灯泡的照明聚焦到基板上。它极其精确，分辨率降至0.5微米。Z轴驱动器允许在曝光期间精确控制基板位置。MICROTEC MA56是光刻应用的理想解决方桉,可快速、准确地将图样从负片母片传输到晶圆。其高精度元件和特性使制造商能够快速、精确地生产半导体器件。