二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9116712 待售

ID: 9116712
晶圆大小: 4"
Top sided mask aligner, 4" (4) Coll wafers Automatic wafer transfer Set up for deep UV.
KARL SUSS/MICROTEC MA 56是由SUSS MICROTEC製造的口罩对齐器。它是微电子生产应用中大小型基板精确对准的实用、通用的解决方桉。MICROTEC MA56采用了一种专有的主动稳定技术,可独立于环境条件提供精确度高达4 μ m(± 2 μ m)的结果。此外,自动对准光学机械系统还可在不到5分钟的时间内通过全晶圆对准过程确保高通量性能。KARL SUSS MA-56的用户界面利用了直观的、基于Windows的图形用户界面(GUI),为用户提供了一种用户友好的控制掩码对齐器操作的方式。KARL SUSS/MICROTEC MA-56的先进控制设备还允许传输和存储数据,以便进一步分析和解释。MA-56集成了一个自动装载机,用于通过机械臂将口罩从盒式磁带传送到曝光区域。掩模对准器可以容纳两种手动晶片对准型号,例如配备四个可调螺钉的标准手动晶片调平系统,以及自动对准单元,以及其创新的机电式盒式调平机。MA56配备了长寿命汞灯、高精度光学成像工具和先进的调制传递功能(MTF),在低剂量水平下允许更高的吞吐量。对齐器的内置软件适合于多种应用,为用户提供了优化平版印刷图样处理以实现高产率的能力。MA 56可以利用200 cm ²的不同基材尺寸,并具有很高的精确度和补偿环境因素(如温度或湿度)的能力。面具对齐器还支持多种语言,使其适合全球市场。总体而言,MICROTEC MA 56是一种可靠的掩码对齐器,可在短时间内以无与伦比的精度提供准确的结果。它是一种多用途、实用的解决方桉,对许多微电子企业都是有利可图的。
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