二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9210757 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 56是一款高精度的掩模对准器，旨在以精确的精度对准掩模和基板。该工具用于微加工和其他微机电系统（MEMS）的光刻工艺。MICROTEC MA56掩模对准器由一个对准单元、光学器件和一个电动X, Y级组成。对齐器使用光源将掩模的图像投影到基板上，并提供在1.2微米以内的高精度对齐。光学器件包括一个照明的标线、分束器、成像透镜和扩束透镜。电动X, Y级保持基板，并有一个手动Z级进行高度调整。KARL SUSS MA-56允许对齐各种尺寸的口罩，范围从4 "x 5"到8 "x 10"。此掩码对齐器设计为操作友好,具有自动化功能,可简化设置和操作。它有一个数字成像设备，在高分辨率显示器上显示对准过程。KARL SUSS MA56还具有自动目标控制系统和自动对焦单元,以确保精确对齐。MICROTEC MA-56的对准精度优于1.2微米，光斑尺寸能力为6µm （FWHM）。它还具有易于查看掩模/基板特征的照明标线,以及用于直接写入过程的可选UV机。MA 56蒙版对齐器是高精度应用的绝佳选择，提供快速、精确对齐和长期性能。它是MEMS和光刻工艺的理想工具,允许制造高精度元件和设备。此工具易于使用,并以经济高效的方式提供准确的结果。