二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9270575 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 56是工业研究和生产中用于光刻工艺的高精度、自动化的掩模对齐器。它用于沉积和图案化光刻胶薄膜，如用于半导体制造的薄膜。MICROTEC MA56具有5-115微米的特征分辨率，适用于厚达500纳米的层。机器采用安装在伺服台上的成像系统，将光刻面膜暴露在诸如硅晶片之类的基板上。然后将基板移动到靠近成像系统的位置,使其对齐并聚焦。该机器能够同时进行单轴和双轴对齐。它允许各种对齐方法，如自动对齐、全视野测量、瞄准、十字线和线性自动对焦。KARL SUSS MA-56使用质量流控制器来精确控制化学物质（如光刻胶和显影剂）向基板的输送。过程条件，如温度、湿度、化学浓度和通量，可以很容易地调整。该机器还提供了广泛的安全功能,并且符合当前的EMC法规。MICROTEC MA 56具有直观的用户界面和高度可配置的工作流。它能够运行多种编程语言，包括C、Visual Basic和Pascal。机器可以远程操作，允许远程观察和监视。总体而言,KARL SUSS/MICROTEC MA-56是一种用户友好的高精度掩模对齐器,适用于各种光刻工艺。它具有很高的准确性和可重复性,能够实现5-115微米的特征分辨率。该机器能够同时执行单轴和双轴对准,并且可以轻松调整以优化工艺条件。其直观的用户界面和远程操作使MA56成为工业研究和生产的宝贵工具。