二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9302582 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 56是一种蒙版对准器，利用光学光刻技术在光刻胶等材料中产生微观结构。对齐器由两个主要组件组成：蒙版支架和步进表。遮罩架是一个机械平台，包含一个高度可调的遮罩架，用于移动遮罩以便与基板对齐。步进台是一个步进电机驱动的平台，它允许样品的微观水平对准。MICROTEC MA56设计用于提供200 nm至100 nm的亚微米结构的高分辨率图样和精确对准,并具有0.8/1的数值孔径（NA）。该机器能够产生小到0.5um的特征大小的图样。它还能够执行365 nm至365 nm的曝光间隔,步长为0.5-20微米,曝光时间为0.1-200 ms。此外,机器还配备了自动聚焦控制单元,允许用户预设所需的聚焦,从而确保曝光阶段的焦点得到完美调整。KARL SUSS MA-56由广泛的软件包提供支持,旨在促进协调过程。它提供了广泛的对齐辅助工具,如自动曝光（AE）、自动聚焦（AF）、自动调平（AL）、焦点恢复（FR）和模式优化（PO）工具。此外，该设备的设计具有多功能性，因为它的模块化设计允许使用可交换的口罩和各种基板固定系统。所有这些功能都有助于创建更精确、更高效的光刻工艺,从而提高设备制造的质量。MICROTEC MA 56是一种用于光刻应用的可靠和高度精确的光机械工具，用于利用光刻技术的力量产生复杂的图样和亚微米结构。它为精密高效的光刻提供了广泛的功能，为设备制造提供了更快、更准确的模式对齐方式。