二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9382959 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 56是一种半自动、超精确的掩模对齐器，设计用于光掩模制造、晶圆成像和多层工艺集成等工业光刻应用。MICROTEC MA56可以将掩模（透明）与晶片（硅晶片层）对齐到纳米级的精度，从而能够在晶片上精确放置图样。KARL SUSS MA-56具有一个机器人致动系统，该系统能够将掩模精确的高度和机电对准晶片，可重复性为0.5um。该装置采用直观的计算机控制系统，便于设置和操作。KARL SUSS/MICROTEC MA-56具有双激光定位系统,具有高分辨率的粉末衍射自动对焦和光学干扰,可实现最佳的对准精度和可重复性。XY级具有内置的数字读出功能,可在X和Y轴上实现高达0.25 um的对准精度。该掩模对准器还提供了广泛的光学和机械选项,以方便生产用于晶圆级制造的精密光掩模。此外，MA 56还包括各种曝光系统和选项，如脉冲二极管激光器、光束发生器、光源和对准放大显微镜。各种光学元件如滤光片、透镜、光束夹板和投影光学器件提供强烈的光辐射（通常在紫外线和可见波长范围内）和改变光束尺寸从25微米到400微米的能力。MA-56适用于需要定制和精确的掩模与晶片对齐的各种应用。对于需要对复杂的光掩模进行精确模式传输的客户来说,它是一个完美的解决方桉,非常适合模模、电池间和晶圆级封装（WLP）。