二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6 #293639160 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6是来自半导体工业精密设备制造商MICROTEC的掩模对准器。MA 6和BA 6掩模对准系统为需要纳米级分辨率的高端光刻应用提供了准确、可重复的结果。MICROTEC MA6/BA6掩模对准器的Z轴分辨率为0.01微米，最小步长为0.12微米。它能够定位重复性<0.1微米的基板。定位台具有700毫米乘600毫米的线性刻度，能够精确定位最大尺寸为12英寸的基板。该机配备了双梁设备，提供快速对准时间和分割场测量能力。双光束系统包含两个激光二极管干涉仪/位置反馈系统，可提供纳米级位置精度和快速对准。它还配备了一个高分辨率的远心光学模块，提供了放大倍数为30倍或更大的视场。KARL SUSS MA6/ BA6单元具有多种功能,可确保可靠的结果并最大程度地降低缺陷风险。为了降低受到污染的风险，机器配备了自动对焦曝光工具，使曝光波长保持一致。它还有一个真空保持防止任何基板在暴露过程中运动。为了最大限度地减少基板上的划痕或凹痕的风险，该资产设计具有气垫功能。该型号还提供了广泛的曝光源，如大功率汞弧和XeCl曝光灯，它们提供超高精度的图样，曝光时间不到一秒。此外，内置的紫外线和红外滤光片提供了清洁的工作环境，最大限度地降低了基板吸收任何种类辐射的风险。最后，KARL SUSS/MICROTEC MA6/BA6掩模对准器还配备了一系列广泛的诊断和服务工具，允许使用全工具控制进行测量、检查和性能测试，非常适合研发。MICROTEC MA-6/ BA-6掩模对准器具有多功能性、坚固的设计和准确性,是任何精密光刻应用的理想工具。