二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6 #9152898 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6是一种具有光阻能力的掩模对准器，用于中小型微电子器件的制造。该工具为材料的精确排列提供了一个准确、稳定的平台，从而促进了材料的直接沉积。微处理器、运动控制器和设备计算机使整个对准过程自动化。MICROTEC MA6/BA6使整个晶片平面的光学成像降低了5倍,从而在制造过程中实现最大分辨率。此外,该掩模对准器还配备了先进的视觉功能,包括用于控制掩模在开发过程中的精确对准的X-Y和Z轴位移测量系统。KARL SUSS MA6/ BA6设计用于处理从湿化学到有机的各种光致抗蚀剂，甚至是特殊化合物，如用于表面微机械加工的化合物。这一工具特别适合使用敏感材料，在开发过程中提供了高度的可重复性。光束阴影成像也是KARL SUSS MA6/BA6对准单元的关键部分。这种成像方法降低了光掩码误差的风险，即使在纳米级也能实现精确对准。MICROTEC MA 6/BA 6还具有用于材料层快速精确对准的大功率UV灯源和特殊的UV曝光算法,以缩短曝光时间并提高精度。MICROTEC MA 6 BA 6还拥有全面的软件能力。这样就可以集成从CAD和其他模拟及设计工具中获得的数据,从而实现最高的效率。这种掩码对齐器还提供了流程监控和记录保存功能，使用户能够在微加工过程中准确跟踪其进度。最后,MICROTEC MA 6/BA 6配备了高级诊断和故障诊断机器,使用户能够在制造过程中快速识别和解决任何潜在问题。