二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6 #9163150 待售
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已售出
ID: 9163150
晶圆大小: 6"
优质的: 2000
Mask aligner, 6"
Configured for 5”
Currently stored in clean room
2000 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6 Mask Aligner是一款先进的Mask Aligner,适用于从小型中端到高端半导体技术的设备。它被设计用来打印、对齐和转移模式的面罩到基板上以卓越的精确度。MICROTEC MA6/BA6机使用高度精确的Z轴运动和鲜红色二极管激光器与设备对齐掩模图样。它能够放置和对齐非常小的图桉,精度高达55 μ米。KARL SUSS MA6/ BA6 Mask Aligner具有极其坚固可靠的精确操作设计。这台机器采用坚固的BOSCH式甲板,具有最多6个不同口罩的夹具位置。其先进的直线电机驱动X轴,结合4轴视觉系统和旋转级辅助,保证了可靠的模式放置和对准。此外,机器使用三个照相机检查面罩对基板的对准。KARL SUSS MA 6 BA 6 Mask Aligner有一个大的优化打印窗口。它能够打印尺寸不超过4mm的非常小的图样,并具有非常快μ 10米可重复性。它提供手动和自动打印模式,使用户能够无缝切换这些功能。此外,此掩模对准器还具有集成的基于LED的背光系统,可提高观看效果,并且可以达到150摄氏度的温度。综上所述,KARL SUSS MA-6/BA-6 Mask Aligner是一种高度可靠和精确的对齐和传输模式的工具。它具有坚固的设计,具有X轴直线电动机驱动器,以及用于各种掩码的多个夹具位置。此外,它还提供温度最高为150摄氏度的手动和自动打印模式,以及用于改进结果查看的背光系统。它是众多工业应用的理想解决方桉,能够打印和对齐尺寸不超过4mm的小图桉,并具有10 µm的可重复性。
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