二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6 #9364593 待售

KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6
ID: 9364593
晶圆大小: 2"-6"
Mask aligner, 2"-6".
KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6掩模对齐器是一种用于制造微电子器件的自动掩模对齐器。MICROTEC MA6/BA6设备具有精确且可重复的掩模与基板对准功能,允许严格的对准公差。该系统可容纳直径达6英寸的基板,适合研究应用。KARL SUSS MA6/ BA6单元可实现高级对准,分辨率低至1微米。其± 3微米的对准精度,以及先进的倾斜和旋转对准功能,可实现精确的掩模与基板对准。此外,这台机器的完全自动和手动处理功能允许执行各种对齐和对齐修改任务。KARL SUSS/MICROTEC MA6/BA6工具包括步进电机XY级,可提供高重复性、准确性和稳定性。它可以精确定位基板和面罩,确保完美对齐.该资产还采用了可调节的十字发型定位模型,以获得最佳精度。此外,蒙版支架的深度调整为2.3mm,可进行多层对齐。MA6/ BA6设备采用无工具孔径校准和口罩支架调节系统。先进的口罩支架倾斜和旋转控制使口罩和基板的精细调节比其他系统更容易。然后,为安全和保护起见,会自动覆盖暴露的蒙版,并且KARL SUSS MA 6/BA 6单元会在对准前后自动擦拭所有成像光学器件。KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6 Mask Aligner提供高精度和重复性,非常适合微电子学的研究应用。它具有完整的自动和手动处理功能,以及用户友好的对齐控制功能,使其成为生产使用的理想选择。凭借其高精度和对准能力,KARL SUSS MA-6/BA-6机可用于生产高质量的微电子。
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