二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6 #9378159 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6是晶圆光刻的一种高度精确的掩模对齐器。它由步进式曝光设备组成，具有基于显微镜目标的对准系统。步进式曝光使用紫外线，提供晶圆表面上图像的受控图桉。对准单元的目标是确保晶圆制造的掩模模式的重复和准确对准。MICROTEC MA6/BA6利用各种技术确保最佳性能。它配备了使用光学显微镜目标的自动对准机、确保晶圆均匀性的平坦度监视器、用于在晶圆表面上产生图样的多通道模式发生器以及用于亚微米精度的边缘检测工具。此外，还专门为KARL SUSS MA6/ BA6开发了几个软件包，以确保有效的用户操作和能够将模式传输到晶圆上。MICROTEC MA 6/BA 6旨在满足一系列制造任务的高性能要求。该模型可用于多种应用，包括制造集成电路、半导体元件以及用于平板和汽车显示器的元件。它能够超精密对准，提供0.5微米以下的高精度，最大工作可重复性小于10微米。此外，其易于使用的软件功能支持多种模式设计方法，其自动对齐资产使得能够以最少的浪费生产高质量的基材。MICROTEC MA 6 BA 6是生产环境中需要精确和可重现性的理想光刻工具。它将高质量的对齐和成像精度与高效的设计和用户友好的软件相结合，以有效地制造晶圆。它被设计成在很宽的温度范围内发挥作用，使得它适合在广泛的工业应用中可重复的过程。此外，它的高精度保证了生产过程中各层的精确对齐，使得高质量产品的生产成为可能。