二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #131530 待售
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ID: 131530
晶圆大小: 6"
Topside and IR mask aligner, 6"
With backside IR
Chuck, 6"
Split field optics:
Torret type
UV 400 Optics
Lamp: 500W Mercury short-arc lamp
Power supply: CIC 1000.
KARL SUSS/MICROTEC MA 6是一种面罩对准器,设计用于各种材料的精确对准和光刻,包括金属、玻璃、陶瓷和塑料。MICROTEC MA6非常适合用于电极沉积、光致抗蚀剂处理和BioMEMS微加工应用。KARL SUSS MA-6具有极其精确的自动化图像对准设备,可确保几乎任何光刻胶或聚合物基板的精确且可重复的光刻面罩对准。遮罩对准器还具有高度灵敏的光学配准系统,可以精确测量遮罩结构与基板之间的偏移。该装置能够将掩模精确对准0.5微米以内。MICROTEC MA 6还提供了广泛的先进光敏处理技术。这包括可变角度平行性、可变方向平行性和可变焦点对齐。掩模对齐器还具有自动灵敏度控制机器,可提供对各种电阻率的线性和非线性电阻率控制。集成软件使用户能够在光刻周期中监视和控制过程时间、温度和其他参数。KARL SUSS MA 6还通过先进的散热器设计提供了卓越的温度均匀性。散热器设计用于在基板表面均匀循环加热空气。这有助于确保光刻过程中的最佳效率和精度。KARL SUSS/MICROTEC MA6还包含有助于确保人员、设备和环境安全的集成安全功能。这些特点包括轻型窗帘、安全联锁、空气过滤和真空隔离阀,以及保护罩。MICROTEC MA-6是一种高度通用的工具,几乎可以用来精确对齐和光刻任何材料。高精度的图像对准工具、先进的光刻处理技术、卓越的温度均匀性和安全特性使KARL SUSS MA6几乎所有应用的理想选择。
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