二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #293592970 待售
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ID: 293592970
晶圆大小: 6"
Mask aligner, 6"
Gen 1
Resolution: 1 Micron
Split field microscope with (6) objectives
Option: IR, 3"
Mask holder, 7x7"
Power supply: 1000 W.
KARL SUSS/MICROTEC MA 6是一款高级掩模对齐器,设计用于高精度对准和配准。它配备了自动激光设备,可在一个周期内对多达六个基板进行高精度对准。对准精度在x、y方向上均为0.5µm,在z方向上均为1 µm。系统的准确性进一步得益于高度敏感的晶片边缘识别特性。对准和配准过程是通过将五个单独的激光束顺序发射到基板上的一系列标记上进行的。对每个标记进行监控和校正,以满足所需的公差,使其精确对齐并粘合到所选择的基板上。MICROTEC MA6包括一个晶片级机器人单元以方便基板的装卸,以及一个集成的热力机以保持它们在理想温度范围内。面罩对齐器还具有自动标线交换和集成控制中心,提供视觉界面和实时监控过程。它的高级设计允许在配方之间简单易行地转换参数,从而在对齐过程中具有更大的灵活性。KARL SUSS MA-6还利用视觉工具扫描标线上的缺陷,以确保每个基板上的无缺陷对齐。MICROTEC MA 6是一种高度可靠的掩模对准器,可用于电子、光电、光子学和微机电系统(MEMS)等一系列行业。资产本身具有防尘功能,可用于从大容量到大型群集配置的一系列生产环境中。它为同类产品提供了出色的稳定性和可靠性,非常适合要求高精度和重复性的应用。MA6是精密制造过程中调整微结构元件的理想工具,因为它可以与高质量、高精度和可重复的结果进行调整。总之,KARL SUSS/MICROTEC MA-6是为高精度应用而设计的先进对齐器。它具有高度自动化和可靠的模型,能够提供准确的对齐和配准,并为班级提供极好的稳定性。该设备具有防尘功能,可在多种生产环境和配置中工作,是精密制造工艺的绝佳选择。
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