二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #293600857 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6是为半导体工业中的光刻应用而设计的最先进的掩模对齐器。它具有高精度的自动对准设备，能够将精密掩蔽和晶片级与独特的扫描仪结合起来进行精细调整。MICROTEC MA6还为所有光学元件提供了极高的精度,从而在要求苛刻的光刻工艺中实现了卓越的图像再现性。KARL SUSS MA-6的对准系统采用精密掩蔽级和高精度晶圆级两种分级相结合，能够实现0.15 µm的精细定位精度。遮罩级使用两台精密的5轴压电执行器，射程为100 µm，以实现遮罩和晶圆的优越对准。高分辨率扫描头的设计实现了面罩和晶圆的对准，精度为0.3µm。MA6包括一整套用于优化光刻性能的控制软件。屏蔽级和晶片级的状况不断监测，为复杂的光刻工艺提供了卓越的可靠性。该软件可用于编写对齐过程脚本或优化特定应用程序的单元。KARL SUSS/MICROTEC MA-6配备了多项先进功能,可实现卓越的光刻效果。它具有高强度的紫外线激光源，为晶片提供了非常均匀的曝光。成像机还包括一个先进的工具，用于测量光强度，确保在曝光的每一个点完美的曝光水平。再者，由精密的5轴压电执行器提供掩模和晶圆的微米尺度对准。KARL SUSS MA 6适合于广泛的光刻应用，包括划线、接触印刷、喷墨印刷和光刻回流工艺。资产的高精度、精确度和通用控制软件使其成为先进光刻的理想选择。采用适当的掩模和晶片级组合，可以配置KARL SUSS MA6，以满足现代光刻工艺的挑战性需求。