二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #293623425 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6是为生产先进半导体器件而设计的高精度、全自动的掩模对齐器。它能够对准和暴露基片晶片上的设备，尺寸不超过200毫米。这种微处理机利用精密的软件以及光学和电机控制来精确地将特征和对准标记放置在基板上。光学系统由远心透镜、对准光束和舞台运动组成。电机控制可以改变X轴和Y轴运动,并同时包含步进运动和连续运动。机器的对准能力通过使用光束分割技术得到进一步增强，使对准光束被分割成多个点。这样就可以在多个点同时对齐对齐标记和特征。光学子系统也非常精确，对准精度高达1 µm。MICROTEC MA6提供了全方位的抵抗曝光技术，如光学、电子束和X射线光刻。也可用于焊球和电路元件的对准。机器的自动曝光和对准功能确保最精细的细节仍然印刷准确，即使是小基板。KARL SUSS MA-6还包括一系列安全功能,例如封闭曲面和用户友好的操作员界面。此外，机器还配备了一个软件包，旨在控制和监控工件参数。该软件允许轻松输入、记录和存储可重复的流程配方。最后，MA6被设计为高度可靠，在世界各地的生产线中有着成功的记录。其坚固的设计和卓越的性能使其成为高精度、高批量生产要求的理想选择。