二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #293626982 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6是一款高精度的掩模对准器，设计用于平板显示器、光学、MEMS等类似应用的各种制造工艺。该设备采用独特的对准系统，结合高精度激光对准和光束感应器进行精确配准和对准。MICROTEC MA6利用软件驱动的光学对准单元,可进行各种操作。利用其先进的软件，蒙版对齐器可以配置为执行几种操作，包括晶圆到蒙版对准和测量、二进制光学面纱、图桉投影对准和校正等等。KARL SUSS MA-6有两个阶段，一个掩模阶段和一个晶圆阶段。面罩级提供三个独立的执行器，最大50微米定位。晶片级配备高精度XYZ扫描，每个方向最大Z行程为14毫米，XY扫描范围为15毫米。该机能够在X和Y方向上提供低至5微米的对准精度。还包括在KARL SUSS MA6是一个专利物镜设计，包括一个可调焦点和可变放大倍率。这样可以确保将掩模图像精确聚焦到基板上。为了提高安全性和便利性,该工具包括安全互锁资产,以防止意外暴露。此外,该模型还包括符合人体工程学的设计,可减少操作员疲劳。MICROTEC MA 6利用现代光学和光机械工程的各种组件，为平板显示器、MEMS和其他类似应用提供可靠准确的对准和制造。这种高度精确的掩模对齐器是为可靠性、性能和寿命而设计的，使其成为制造过程中必不可少的组成部分。