二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9116715 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6是为光刻工艺设计的掩模对齐器。它是一种非常可靠、精确的显微镜制图操作工具，适用于器件制造、纳米制造、直接书写和薄膜沉积。MICROTEC MA6的核心是其精确对准技术。该仪器利用"自对准设备"快速准确地记录悬垂和底切。该系统使用户能够以10nm的可重复精度准确定位所需的特征位置。掩码对齐器由微处理器控制，便于操作和编程。PA 6还配备了9.7英寸液晶面板。此面板显示模式数据以及舞台控制参数以及对齐器设置。此外,还包括一个18英寸的显示器,用于查看分别输出到现场打印机的数据。KARL SUSS MA-6配备了高效的曝光光源。这种光源在广谱范围内提供可控的输出，范围从紫外线和可见到红外。这种光源还可以使整个晶片的曝光保持高度均匀性。掩码对齐器使用全场光学对齐单元，允许用户查看、测量和调整掩码的场位置。这台机器可确保晶片之间精确的迭加对准，减少不均匀曝光的机会。KARL SUSS/MICROTEC MA6还配备了一系列舞台和搬运系统，包括手动和自动化舞台的选择。阶段可以是手动的,也可以是自动化的,具体取决于用户最合适的要求。这些级的精度为10nm，平均级振率为0.1µm。MICROTEC MA-6是寻求精度、准确性和可靠性的理想解决方桉。面罩对齐器的灵活性和特点确保它满足许多光刻工艺的需求，并提供高品质的图样跨越广泛的基板。