二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9188997 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6是一种精密的掩模对齐器，旨在方便工业应用微观结构的高通量制造。遮罩对准器用于生产金属、金属氧化物和金属半导体沉积结构的基板，以及用于光学基板如透明金属氧化物结构。掩码对齐器由两个部分组成：对齐器和步进器。掩模对准器使用精确的自动对准设备（AAS）来实现卓越的对准精度。该系统的特点包括面罩的自动插值以与基板对齐，以及自动倾斜和放大功能。这允许对齐离轴,以及大格式基板。对齐器用于将掩模与基板对齐，步进器用于启动光刻过程。这一过程被称为"蒙版曝光"，其中使用聚焦光子束来曝光基板中的岩性结构。曝光时间是可调的，允许对曝光尺寸进行非常精确的控制。MICROTEC MA6还可与亚微米精确自动跳跃型基板对准（JA）配合使用,该对准可使基板对准小至2mm。KARL SUSS MA-6还配备了光光束监测装置，确保正确跟踪对准过程，并以最小的人为干扰。这台监测机器还提供曝光时间和辐射强度等曝光参数的反馈。最后，KARL SUSS MA 6能够在使用者介面上提供高品质的影像显示，让掩模与基板非常精确的对齐。KARL SUSS/MICROTEC MA-6是一种最先进的掩模对准器，广泛用于金属和光学基板的生产。自动对准工具和广泛的反馈选项确保它能够准确地产生所需的微结构类型。MA 6的所有组件都是考虑到质量和效率而设计的,它的设计目的是在制造微观结构时提供尽可能好的结果。