二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9229809 待售

KARL SUSS / MICROTEC MA 6
ID: 9229809
晶圆大小: 6"
Mask aligner, 6".
KARL SUSS/MICROTEC MA 6是一种用于高精度制造集成电路的掩模对准机。它是一种自动设备,可以将光掩模精确地对准半导体晶圆并制作图样。它是一种先进的技术,用于制造半导体元件的过程中。MICROTEC MA6具有6英寸圆对准系统和6微米分辨率。自动对准单元用于精确定位和对齐光掩模。该机具有6英寸直径、高精度5轴运动控制以及用于监控光掩模对准和图桉的集成3-D显微镜。KARL SUSS MA-6还具有高精度的高速曝光工具,它可以曝光扫描速度高达2000线/秒且线宽分辨率小于5微米的晶圆。曝光资产还提供自动光阻检查和对准系统,以及自动优化曝光强度、图桉精度和均匀性。MICROTEC MA 6具有专为多掩模光刻设计的高精度轨道模型。轨道设备提供快速的舞台运动和均匀的温度分布,以确保曝光过程中的最高精度。KARL SUSS MA6还有一个高级软件包,可以为各种不同的应用程序定制。它具有用户友好的图形用户界面、通过网络输入和输出的数据以及为以后的运行保存设置的能力。KARL SUSS/MICROTEC MA-6是一种先进的用于制造集成电路的掩模对准机。它可以将一个光掩模精确地对准和制图成半导体晶圆,同时还提供6微米分辨率的6英寸圆对准系统、高精度的5轴运动控制、高精度的高速曝光单元以及先进的软件包。KARL SUSS MA 6在制造集成电路的过程中提供了最高的精度和精确度。
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