二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9230018 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6是为晶圆级光刻而设计的微电子掩模对齐器。它是一种全自动仪器，以投影成像原理运行。该装置将光掩模的光学图像对准并暴露于涂层或未涂层的基板上，以制造基板上的光刻图样。MICROTEC MA6包括一个机械控制的掩模级,用于处理和对准光掩模。它还包括一个晶片级，它在x、y和z方向上自动移动基板。KARL SUSS MA-6可容纳直径可达150毫米的基板,同时具有自旋接触和线性接触接触。遮罩级具有可调的x、y和z对齐方式，可精确对齐遮罩和基板。KARL SUSS MA 6最大分辨率为0.5um，通常用于半导体技术，最小特征尺寸为1.0um，用于显示和传感器应用。其曝光能量范围为0.15 mJ至3.2 mJ，精度为0.15 mJ。液氮冷却梁转向系统可实现精确的对准和曝光。该仪器设计为提供低成本、亚半微米成像。MA6还具有一个可选的I-line机器,它允许标记内层。内置鳍状肢确保彻底清洁所有光学元件。随附的多层单元允许生产只有一次曝光的多层。可编程的动态对齐方式允许对齐标记的精确和可重现的放置。软件将所需的掩码与基板对齐,以确保正确对齐。MA 6还包括用于光刻胶干蚀刻的集成蚀刻和用于去除底切光刻胶的湿蚀刻选项。它具有很高的可重复性，准确度为0.05%。它还具有晶片级的集成冷却，以延长其寿命，并允许高精度成像。该仪器通过其GUI提供了一个易于使用的全自动用户界面。其设计符合所有主要的安全和排放标准。这些特性使得KARL SUSS/MICROTEC MA-6适合原型制作、中小型批量生产以及研发。