二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9242865 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6是一种在光刻领域使用的最先进的掩模对齐器。它将独特的高性能光学设备与高度精确的机械对准系统结合在一起，从而提供高精度，而不会失去吞吐量或工艺可靠性。该单元适用于激光直接成像以及浸入式光刻和软掩模光刻。晶片与标线的全自动对齐确保了对齐过程的准确性和可重复性。MICROTEC MA6光机主要由三个部分组成：一个大的视场摄像机、一个图像旋转工具和一个长工作距离显微镜。相机捕捉到整个蒙版的高分辨率图像，然后将其与图像旋转资产结合起来，使基板精确对准蒙版。然后显微镜以亚微米分辨率对感兴趣的小区域进行成像。光学模型提供了一个大视野，允许精确的对准和较短的对准时间，同时保持高分辨率。该设备还能够进行全覆盖测量，从而可以微调对齐参数。机械对准系统提供晶圆定位的精确控制。该单元采用独特的6轴对齐阶段，允许在三个维度上精确定位基板。优化了运动范围，以确保晶片相对于掩模的精确放置。此外，该机还装有用于晶圆精确旋转对准和倾斜校正的燕尾形刀具。KARL SUSS MA-6专为大批量生产环境而设计,提供卓越的对齐精度和吞吐量。该资产非常适合计量和质量保证应用，为标线评估和工艺优化提供准确的测量。先进的光学和机械系统的结合使该模型能够为所有类型的应用提供快速、准确和可重复的结果。