二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9257127 待售

ID: 9257127
Mask aligner Backside chuck, 3" (BSA).
MICROTEC/Micromask KARL SUSS/MICROTEC MA 6是一种先进的精密掩模对准器,用于在精密光刻工艺步骤中曝光光掩模和各种基板。它非常适合用于实验室和工业应用,用于制造集成电路组件,如晶体管、电阻器和电容器。MICROTEC MA6使用经过微调的自动化系统运行,以确保光刻曝光过程的准确性和多功能性。它有一个6英寸的方形可编程曝光区域,适用于中型到大型集成电路(IC)的设计和制造。它配备了一个UV灯,其波长范围为193至248 nm进一步允许暴露在广泛的材料上。KARL SUSS MA-6的设计允许在暴露的设备或基板上精确且可重复对准掩模。这种精确度是通过微观和宏观范围调整、自动聚焦系统和综合视觉系统等几种创新机制实现的。这些机制确保在曝光过程中所需的设计能够准确地对齐到基板上,并确保所需的曝光结果得到一致的实现。MA6还提供了几种不同的曝光选项,如升空和双光子直接曝光。双光子直接曝光方法非常适合更高分辨率的图样,因为它允许大的照片面罩和/或小的基板被曝光,而无需接触打印。KARL SUSS/MICROTEC MA-6还能够进行深紫外线(DUV)和超高能(UHE)辐射。此外,MICROTEC MA 6与不同化学性质和厚度的光致抗蚀剂兼容,使用户在其特定装置或基板的精确曝光要求方面具有完全的灵活性。总之,MA-6是一种先进、可靠和用户友好的掩码对齐工具。其精确的对齐和曝光能力,以及先进的自动化系统,使其成为满足您所有精密光刻需求的理想工具。
还没有评论