二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9281940 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6是一种用于微电子和半导体生产中光掩模的制造和对齐的掩模对齐器。对齐器是一种全自动机器，用于对齐和传输特征上的光掩模到基板或晶圆，同时确保接近完美对齐。先进的机器采用基于激光干涉仪的计量学，在传输和对准过程中提供了令人难以置信的精确度。MICROTEC MA6由几个组件组成：高精度电动舞台、真空真空卡盘、计量相机和投影设备。KARL SUSS MA-6上的机动化级可实现0.5微米的精确运动，并具有防振悬挂系统，真空卡盘通过吸力固定晶片。计量照相机用于测量掩模和晶片之间的任何错位，而投影单元则用于将图样从掩模传递到晶片。MA 6能够制造任何精度为300纳米的光掩模。此外，它先进的模式识别技术使机器能够轻松识别和复制甚至最复杂的模式。这项技术与KARL SUSS/MICROTEC MA6先进的投影工具相结合,可实现令人难以置信的精确对准,并在掩模和晶圆之间传输高达± 0.1微米的图样。KARL SUSS MA6还具有自动参考点识别功能,即使在最具挑战性的情况下也能确保完美的对齐。此外,它还可以存储多达1000种配方,从而能够快速设置和操作多个流程作业。KARL SUSS MA 6还有一个可选的微机械手，用于高精度对准和操纵小型微结构。MA-6是在半导体工业中广泛用于生产高质量集成电路的先进工具。KARL SUSS/MICROTEC MA-6由于其惊人的精确度和复杂的模式识别,已成为制造光掩模的行业标准。