二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9286934 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6是一种用于光刻的全自动、高精度、接触式对准设备。它是专为半导体加工而设计，可用于对准和阵列晶圆级掩模层的亚微米精度。该系统具有最先进的XYZ对准级,用于精确定位和测量。MICROTEC MA6配有25倍视觉显微镜进行缺陷检查，掩模和晶圆对准的视野高达700倍，并有两个独立的12站式掩模装填系统。显微镜可用于对准、工艺检查、表面计量和晶圆计量。KARL SUSS MA-6具有带有三个立方体角反射器的直视成像，用于验证和确定掩模相对于晶圆的确切位置。它可以使用扫描电子束成像、I线曝光和内存驱动的数据管理来存储详细的过程信息。该单元是完全自动化的，主要控制软件能够控制多达59个过程步骤。基本的KARL SUSS/MICROTEC MA-6机包括两组掩模对准级、晶片样本级、掩模对准传感器和光源，以及专用的掩模对准软件和对准检测子系统。内置的计量子系统允许精确测量晶圆-掩模对齐方式。它还具有用户友好的图形界面,以及一系列附加的自动化和工程选项。MICROTEC MA 6工具用于多种半导体技术，包括光掩模制造、MEMS制造、3D集成电路和微流体器件制造。可用于快速原型制作，小规模生产运行，实现量产高产。资产的精确度和速度使其成为各种半导体加工需求的理想选择。