二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9375851 待售
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ID: 9375851
晶圆大小: 6"
Mask aligner, 6"
Substrate size: 6″ x 6″
Pieces down to 5 x 5 mm
Mask size SEMI: Standard up to 7″ x 7″
Expsoure optics::
Wavelength range:
UV400 350: 450 nm
UV300 280: 350 nm
UV250 240: 260 nm
Exposure source:
Hg lamp
Power: 200 -1000 W
HgXe lamp
Power: 500 W
Intensity uniformity: ± 5 %
MO Exposure optics: ± 2.5 %
Alignment stage:
Movement range
X: ± 10 mm
Y: ± 5 mm
θ: ± 5°
Mechanical accuracy: 0.1 μm (step size).
KARL SUSS/MICROTEC MA 6掩模对准器是一种精密的光学设备,用于光刻胶在半导体基板上的精确应用。它能够将标线定位在具有纳米精度和可重复性的光刻涂层半导体上。该系统的工作原理是使用镜子和透镜将光投射到基板上,并创建明暗区域的图桉。这是由电荷耦合器件(CCD)照相机检测到的,并且对图像进行分析以使图样与基板对齐。MICROTEC MA6被设计为与许多基材材料兼容,如硅、砷化氙、多晶金刚石,以及石英和其他类似玻璃的材料。还配备了增加工作距离的扇束照明、高精度定位的高分辨率和高功率激光、提高图桉匹配精度的双束曝光等特点。除了基本组件外,KARL SUSS MA-6还具有许多其他有用的功能,使其能够针对各种应用进行定制。这些功能包括检测非聚焦条件并自动校正,调整掩码补偿和图像移位,存储掩码注册数据的内存,以及用于处理元素之间复杂空间的多曝光模式。KARL SUSS/MICROTEC MA6还有一个独特的光学面包板,有助于减少振动并允许光学元件同时对准。为了保证可靠和高精度的对齐,KARL SUSS MA 6具有扫描大小和模式可重复性等几个软件控制的对齐参数。该单元支持四种不同的对齐方法-并行处理、网格、阴影和整个布局。所有这些功能协同工作以提供快速、高度准确和可重复的对齐结果。KARL SUSS/MICROTEC MA-6具有广泛的应用,从微电子到生物医学应用。它被用于许多行业,包括光刻、玻璃食品和饮料瓶装饰、薄膜太阳能电池加工、机器视觉和半导体晶圆加工。它也被用于生产各种元件,如微透镜、透镜和造型。总体而言,MA-6遮罩对准器是在半导体基板上精确制图光刻胶的理想工具。它配备了先进的技术和功能,使其能够适应各种应用,提供可重复和准确的结果。它是一种可靠高效的机器,在世界各地的许多行业中都有应用。
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