二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 6 #9262949 待售

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ID: 9262949
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 6 Mask Aligner是一种多用途的用于制造Mask的自动晶圆步进器。该设备采用了专利光学对准算法和双CCD对准系统,以确保晶片和掩模之间的精确对准。MICROTEC MA-8/ BA6具有广阔的视野和高质量的光学器件,可确保精确对准6 µm。晶圆/掩模未对准(包括表面非平面)是可以纠正的。它可容纳2"至8"晶片,能够暴露在0.5µm范围内,非常适合高分辨率的掩模制造。该单元还具有电动XY和Z轴功能,可实现出色的阵列放置精度和对准再现性。它还提供二极管保护,以防止激光对准对掩模或晶片造成任何损坏。此功能允许用户在曝光前精确调整掩模的位置,确保对准过程中的精确度和精确度更高。此外,KARL SUSS MA-8/ BA-6具有紧凑的占地面积,并配备了功能强大的自动开环控制机器,以实现卓越的曝光控制和可重复性。革命性的曝光参数,如蒸汽角或标线图样大小和实时监测剂量可以在曝光期间进行调整和监测。MA 8/BA 6因功耗低和自动维护要求而拥有较低的拥有成本。Mask Aligner还具有增强的用户界面和直观的图形菜单,可实现快速、无故障的操作。嵌入式高速以太网端口可用于促进网络连接,并允许远程维护和支持。此功能有助于远程操作和维护,同时确保安全的实时连接。总体而言,KARL SUSS MA 8/BA 6蒙版对齐器是一种可靠、精确的自动蒙版对齐器,专为精确高效的蒙版制造而设计。它提供了出色的性能、特性和灵活性组合,允许用户以最低的成本和工作量提供高性能掩码对齐。
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