二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 8 Gen3 #293822659 待售

ID: 293822659
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 8 Gen3是一种用于光刻应用的高精度、高精度的掩模对准器。该设备主要用于生产精密微电路和光刻蒙版,执行蒙版对准、晶圆曝光和升空过程。MICROTEC MA8BA8-GEN3掩模对准器配备了二维、两轴微驱动,能够提供一流的精度、准确性和精确度,而不会牺牲时间或精力-即使是高密度对准。KARL SUSS MA 8/BA 8 GEN 3具有高达8微米的分辨率,具有自动预对准配准和高级聚焦控制等高级功能。此外,掩模对准器是无人驾驶的,具有光学对准功能,可确保高精度定位。该装置支持特殊材料,如薄膜,其优化的薄玻璃操控机构。此外,通过可变对准速度和角度调整,KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 8 GEN 3能够减少循环时间,防止聚焦变化。为了进行校正,还提供了一系列图形用户界面,可帮助优化和排除掩码对齐器的故障。这包括一个图形模拟功能,以确保准确的对齐结果之前和过程中。为进一步确保高精度,KARL SUSS MA8BA8-GEN3掩模对准器还支持多个检查和校准位置,包括非接触式非接触式深度测量系统。MICROTEC MA 8/BA 8 GEN 3最多可容纳6台CCD摄像机,适用于批处理或单晶片应用。它还具有安装在炮塔上的视口,具有较低的热色散,可增强激光对准,以及易于对准的旋转操纵杆。掩模对准器使用MICROTEC SuperMultiDrive软件,使其与所有标准的热、电子束和光刻系统兼容。MICROTEC MA 8/BA 8 Gen3掩模对准器具有无与伦比的精度和精确度,为光掩模和晶圆曝光提供了出色的光刻效果。此设备具有卓越的晶圆处理能力,是任何微电子设备的基本工具。
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