二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 8 #293590393 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 8是为高精度光刻应用而设计的精密掩模对齐器。它用于在由多种材料制成的晶片上对齐和设计精细的微结构。MICROTEC MA8/ BA8具有高度精确的对准设备,具有通过两台电机、一台电动压力机和两台显微镜物镜的组合实现的亚微米级反馈精度。电动压力机在面罩/面罩支架和晶片/支架之间提供受控压力，最大压力为3.2公斤。这样可以确保准确、可重复的曝光。显微镜物镜可以精确对准晶片上有图桉的掩模并将其曝光。该机刀具尺寸为8英寸，最大晶圆尺寸为8英寸，最大花纹曝光为4微米。当使用适当的光学器件时，可以实现亚微米分辨率模式。整个曝光过程完全自动化，由先进的软件系统控制。该软件旨在简化光刻管理过程。它为用户提供了一个直观的平台，用于控制曝光时间、对准、聚焦、压力等参数。通过使用软件界面，用户可以快速设置和运行实验，修改曝光设置，生成报告。KARL SUSS MA8/ BA8还配备了先进的安全功能。它有一个内置在柜内的排气单元，去除了光刻过程中产生的有害颗粒。此外，还有两个内置的安全百叶窗保护用户免受紫外线辐射。此外，在紧急情况下，可以使用紧急停止按钮快速停止接触。总体而言，KARL SUSS MA8/ BA8是生产高质量亚微米模式的绝佳设备。其精确的对齐机和自动化软件使它成为一个理想的掩码对齐一系列的任务。