二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 8 #9171637 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 8 Mask Aligner是一种计算机控制的自动化晶圆成像和对准设备，用于制造光掩模。该系统是微加工过程中的一个重要工具，用于精确对齐两种不同的基板，同时控制焦深和精确的晶圆与掩模对齐。MICROTEC MA8/ BA8由强大的控制器和主机PC组成；在三个维度上移动的模拟扫描器；高分辨率光学相机成像仪；超精确对准头；和过滤单元。它还包含两个标准光源，一个水银弧灯和一个氙弧灯。配备手动或电脑化可调背光灯及手动或电脑化可调Z级机。对齐头是工具最关键的组成部分。它可以精确定位掩模和晶片以进行成像。当遮罩和晶片对齐时，缩放旋转函数确保配准完美。然后，光学成像摄像机通过测量蒙面细节的深度来提高对准精度并捕获地形数据。使用独特的三重曝光过程,KARL SUSS MA8/ BA8创建完美的对齐方式。第一次曝光包括重迭和对齐标称坐标。第二次曝光对坐标进行过采样，第三次曝光与精确坐标匹配。这种超精确的成像和对齐资产与强大的主机计算机相结合,可以处理图像并创建一个完整的图案文件,用于制作光掩码。此外,该模型还具有先进的软件,可帮助操作员最大程度地提高KARL SUSS MA8/ BA8的精度和速度。它包括用于输入掩码数据、处理图像以及链接到现有软件的用户友好功能。它还提供了一个全面的布局编辑器和一个面具检查程序的质量保证。总体而言，MA 8/BA 8掩模对齐器是光电器件生产和复杂的微加工工艺的理想解决方桉。它具有强大的控制器、精确的成像和对准设备以及先进的软件,有助于促进高效和经济高效的生产。