二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 Gen 2 #293810576 待售

ID: 293810576
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MA 8 Gen 2是一种掩模对齐器,在半导体工业中常用,用于创建模具大小的电路模式。机器使用一个6英寸到8英寸的圆形或方形掩模来图样电路,然后转移到晶圆或基板上。这种掩模对齐器具有很高的精度,因为掩模与晶圆对齐到10微米以内,这意味着电路模式可以非常精确地再现。MICROTEC MA 8 Gen 2使用基于串行通信的三语言控制设备,使机器能够根据特定要求进行定制。用户友好的直观界面非常适合通过键盘、鼠标、显示器或标准工业PC进行快速设置、诊断和系统维护。KARL SUSS MA 8/GEN 2配备了先进的成像和模式技术,如步进阻抗和干蚀刻对准,以及双波长激光光学对准单元,用于精湛的校准和复杂的光掩模迭加对准,并依赖标准和定制的识别计量。该机还包含一台可满足各种芯片生产需求的步进重复机,以及用于精确压力和温度管理的精密深度/焦点评估和伺服控制系统。这种掩模对齐器还提供了一个独特的加工窗口,可以容纳各种基板,包括3"到8"(75毫米-200毫米)之间的晶片以及厚基板。KARL SUSS MA 8 Gen 2还具有一个封闭容器工艺,具有开发或蚀刻厚膜的高压8BAR能力,以及一个可选的基于紫外线臭氧的清洁工具,用于先进的多层堆叠或挖沟工艺。最后,MA 8/GEN 2是一种功能包装的掩模对齐器,它在工业级设计中提供了通用的阵列和成像功能。其用户友好的控制界面,加上其先进的技术,为即使是最复杂的芯片生产过程提供了可靠的精度。
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