二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 #293587271 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 8是一种全自动光刻掩模对准器，用于生产亚微米范围内的集成电路。它是一种高精度、模块化的机器，支持一系列斜对齐和对角对齐器、UBM和Aspheric镜子，以及广泛的舞台自动化级别，以适应不同的工艺要求。这包括批量和单片加工，以及对样品结构的高分辨率测量。MICROTEC中的主要组件MA8包括X-Y级、晶片卡盘、样品支架和标线卡盘。X-Y级允许使用两个精密设备进行精确对准的样品移动,这两个设备提供了亚微米分辨率。晶片卡盘容纳厚度达3毫米的薄样品，样品支架将其相对于显微镜定位。它保持在显微镜下的位置，微处理器通过一系列编程序列控制晶圆的运动。标线卡盘将暴露的口罩保持在晶圆上方的位置，其运动也由微处理器控制。KARL SUSS MA-8的其他功能包括提供步进电机对准的高级聚焦伺服系统,以及用于识别样品大小和形状的自动边缘检测。精确对准使样品能够精确放置，高频XY线性级用于非常精细的对准和定位。该系统还设有真空传感器，用于控制曝光过程。为了提高生产效率,MICROTEC MA 8提供了气动速度控制和光敏材料的自动点/跨度,用于UBM对准。该机还具有多种曝光源，包括各种电弧灯功率、X射线源和激光器。这样可以实现生产过程的完全自动化,并确保芯片可靠地对齐和曝光。总之，MA8是一种通用、高精度的掩模对准器，是亚微米范围内电路生产的理想解决方桉。其模块化设计和一系列自动化功能可实现精确的一层或多层曝光,并具有高精度聚焦和对准功能。凭借其诸多优势，这台机器可以提供最高质量和生产率的循环生产。