二手 KARL SUSS / MICROTEC MA / BA 8 Gen4 Pro #293824970 待售
网址复制成功!
单击可缩放
ID: 293824970
晶圆大小: 8"
优质的: 2025
Mask aligner, 8"
Top Side Alignment (TSA)
Bottom Side Alignment (BSA)
Motorized X, Y, and Theta alignment stage (0.1 um resolution)
Screen split field microscope
Motorized fine focus
(2) 5x Objectives
(2) 10x Objectives
UV LED Exposure system
MO Exposure optics
9" x 9" Mask holder
8" Chuck with N2 Purge
Custom N2 Purge system
UV Measurement system
Optometer
Probe: 365/405nm
Double membrane vacuum pump
PLC Control
2025 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA/BA 8 Gen4 Pro是为半导体制造、研发和微电子应用中的先进光刻工艺而设计的最先进的掩模对齐器。这种精密对准工具提供高精度和吞吐量的能力,以满足现代纳米技术和MEMS设备制造的苛刻要求。MICROTEC MA/BA 8 Gen4 Pro具有强大的人体工程学设计,可确保稳定的操作和易用性。它的模块化体系结构允许定制和未来升级,以适应不断变化的流程需求。设备配备先进的光学、精确的对准阶段、直观的软件控制以及智能自动化功能,以优化工作流程效率,最大限度地减少操作员干预。KARL SUSS MA/ BA8 GEN4 PRO的关键亮点之一是它的高分辨率光学系统,该系统可实现关键阵列任务的亚微米对准精度。该装置能够以极高的精确度对准口罩和基板,确保图样精确转移到基板表面。对于实现半导体器件制造中的紧密覆盖公差和高分辨率模式而言,这种对准精度水平至关重要。MA/BA 8 Gen4 Pro还配备了高级对齐算法和软件控制,可实现自动对齐过程,减少设置时间并提高可重复性。机器提供多种对齐模式,包括全局对齐、本地对齐和自动模式识别,以适应不同应用程序的各种对齐策略。除了对准功能外,KARL SUSS/MICROTEC MA/ BA8 GEN4 PRO还提供了一种多功能的曝光工具,可支持各种曝光波长、光源和曝光模式。资产可以处理各种类型的基板,包括晶圆、掩模和柔性基板,使其适合光掩模制造、器件图桉、传感器生产等多种光刻应用。KARL SUSS MA/BA 8 Gen4 Pro包含高级工艺监控功能,以确保一致和可靠的光刻结果。该模型提供实时反馈机制、剂量控制和暴露均匀性优化,以提高工艺稳定性和产量。其用户友好的界面为过程分析和优化提供了直观的操作和数据可视化工具。总体而言,MICROTEC MA/ BA8 GEN4 PRO是一种用途广泛且可靠的掩模对齐器,可满足先进半导体和微电子行业的严格要求。凭借其高性能的光学器件、精确的对准功能、自动化的工作流以及先进的过程控制功能,该设备使用户能够在制造尖端电子设备和微结构时实现卓越的模式分辨率、对准精度和过程效率。
还没有评论