二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #114445 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一种用于半导体制造工艺的掩模对齐器。它是一种高精度对准设备，采用独特的高分辨率光学成像技术，以确保准确性和可重复性。该系统设计用于对晶片上的两个或三个单独的光掩模进行成像和对齐,以便制造先进的半导体。MICROTEC MJB3利用机器人、光学和软件的独特组合,将预定义的光掩码精确对齐晶圆。它具有集成的独立个人计算机和专有图形用户界面（GUI）和控制程序,使用户能够方便地设置、对齐和监视其对齐方式。它还配备了目标位置、图像质量、对齐速度选择等几个标准的用户定义对齐参数。KARL SUSS MJB3旨在轻松配置和一次处理多达三个掩码。它在全场投影单元中使用每个掩模的单束光束,具有出色的热性能、基本成像像差和高精度的对准。另外，显微镜允许扫描具有精确对齐亚像素位置的晶片。增加的分辨率有利于在小到5 µm的视场内对齐掩模。KARL SUSS MJB 3是一台自动化机器，配备了高速机械臂、封闭式腔室、数字编码器和轴承幻灯片、精密的软件，以及令人印象深刻的数组数字探测器，可以快速精确地执行对准。它还提供了高度可重复和准确的对齐性能。对齐器还支持多种光掩模，从薄膜光掩模到大步进重复图样。综上所述，KARL SUSS MJB-3是一种功能强大、用户友好的掩模对齐器，适用于制造先进的半导体器件。它提供了高精度、精确度和可重复性的光掩码对准晶片在一个小的视野。它是一种自动化工具，非常适合大批量制造半导体晶片，并安装在各种生产场所。