二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293586572 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一种自动掩模对齐器，广泛用于半导体和微电子工业的光刻工艺。该装置配有光学和机械设备，可进行精确的掩模对准和迭加配准，并确保了批量处理的高精度和速度。对准器将光学系统与电动电动机驱动的x-y级相结合，将掩模相对于晶圆定位。光学对准单元在对准过程中监视和检测晶圆和掩码的未对准,并可以自动移动掩码以消除任何未对准。MICROTEC MJB3的可重复性为0.5 μ m或更高。KARL SUSS MJB 3具有自动化装载机，允许单个操作员以半自动方式装载多个掩码。掩码可以按顺序或并行加载。对准器还可以通过使用双激光器和测量载荷过程中基板厚度变化或其他因素造成的失准，动态提高对准过程的精度。MJB3具有自动掩码检查功能,允许在将掩码复制到晶片上之前检测到缺陷。KARL SUSS MJB-3提供了光学或非光学曝光源的选择，允许在曝光过程中的灵活性。它还为定制曝光要求提供了不同的镜头选项。该装置能够与石英、单晶硅、光致抗蚀剂等多种底物一起操作。KARL SUSS/MICROTEC MJB3附带了用于控制对准操作和曝光设置的软件。软件包括手动对齐和模拟模式，用于估计掩模和基板之间的重迭。该软件还允许对晶圆对齐结果进行批处理和图像捕获,以进行追踪记录。MICROTEC MJB 3被设计成与其他半导体製造机高度相容，例如激光扫描仪和蚀刻机。此配置允许同时处理多个晶片。该设备还提供诸如延长曝光时间或每次曝光时可选择的Z坐标等功能,这有助于优化曝光过程。总体而言，KARL SUSS MJB3具有一系列特性，使其成为半导体和微电子工业中光刻工艺的理想选择。它旨在提供高精度、可重复性和速度,以及其曝光过程的灵活性。该装置还能够处理多个基板，与其他制造机器高度兼容。MJB3是一个极好的选择，一个掩模对准精度和成本效益光刻。