二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293590392 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是专门为生产级光刻设计的专用Mask Aligner。在光刻中，一个精细的图样通过暴露于紫外光而从光掩模转移到硅片，这为器件放置在晶片上提供了极高的精度。MICROTEC MJB3 Mask Aligner提供非常高精度的对准,定位精度± 0.3 μ m,可重复性± 0.2 μ m。KARL SUSS MJB3对齐器提供两个独立的对齐系统。首先是显微镜对准设备，由高分辨率数码CCD相机（1280 x 1024,5.5 μ m间距）组成，放大倍率为4x-64 x，对准精度为0.06 µm/像素。第二对准系统为粗对准步进单元，由高分辨率级（1800 x 1800音高）组成，定位精度为0.4µm，用于粗对准。KARL SUSS MJB-3对齐器配备了高度创新的成像机，提供了无与伦比的视野。它允许大面积曝光，视野高达200毫米，每像素分辨率26.6µm。这是通过结合使用长工作距离50毫米2.5X变焦目标和两个数字移位镜头来实现的。该成像工具还配备了明亮的现场成像资产，能够扩展动态工作范围和灵敏度。MJB3对齐器提供了广泛的高级曝光参数,例如最大曝光场大小为8 "x 8",曝光剂量范围为0.1-250 mJ/cm2,曝光精度为± 2%。它还提供了多种曝光类型，如单光束、多光束和可编程光束曝光，以获得最大的灵活性。最后,MICROTEC MJB3掩码对齐器高度集成,可提供最高性能、可控吞吐量和无与伦比的精度。它为性能提供了加热真空卡盘,并且能够在一次运行中处理多达五个晶片,从而确保了高吞吐量的生产环境。而且，KARL SUSS MJB3与许多软件包兼容，可以作为独立型号或作为全自动生产线的一部分使用。