二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293649571 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一种由MICROTEC制造的自动光刻面膜对齐器，位于德国。它被半导体和微电子工业用于复杂元件的快速微加工，如光刻。MICROTEC MJB3能够精确绘制到纳米范围内，分辨率为1 μ m。通过使用它的四轴万向节安装阶段，它比其他掩模对齐方法更快、效率更高。这种安装在万向架上的舞台使x轴、y轴和z轴的运动具有极好的稳定性和准确性。KARL SUSS MJB3还采用双对准技术，提供高吞吐量和卓越精度。要定位掩模,MICROTEC MJB-3使用四状态自动聚焦设备。该系统能够定位并精确定位所有三个轴上的掩模,分辨率为1 μ m。它还可以检测对齐标记在掩码上的位置，允许精确且对齐良好的掩码。蒙版上的对齐标记由连接到显示器的CCD摄像头检测,从而使操作员能够引导和监视对齐过程。KARL SUSS/MICROTEC MJB3使用紫外线、i-line和深紫外线光源的选择。这允许各种平版印刷过程,包括地形覆盖、反光、接触和其他过程。不同光源的组合和可用的对准技术，使KARL SUSS/MICROTEC MJB3能够提供灵活高效的光刻解决方桉。为保护用户免受辐射，MJB3中包含多个安全系统。其中包括一个可定制的联锁装置，用于监测操作员的位置；用于滤除紫外线波长的光稳定屏蔽；以及一种监控紫外线供应水平的安全机器。总之，MJB-3是一种自动光刻面膜对齐器，为工业上提供了高通量和准确的光刻方法。光源的选择与四轴万向节安装级相结合，使KARL SUSS/MICROTEC MJB3的阵列下降到纳米范围，达到1 μ m的精度。此外，它还能够提供出色的安全系统，保护用户免受辐射。