二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293668771 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一种精密掩模对准器，用于微电子学的许多领域。它通过将光通过标线或光掩模投射到光刻胶上，在光刻胶上产生微观图样。MICROTEC MJB3是一种超高精度的数字掩模对准器,可在较宽的温度范围内提供可调的对准精度和最低的振动水平。其特殊性包括由于其稳定的结构设计以及创新设计和集成的运动控制和对准系统，能够产生高达0.5微米的对准精度。KARL SUSS MJB3还能实现0.005mm或0.0001"范围内的横向运动，可重复性最高。柔性准直系统是用电子控制滤波器代替光学定位的干涉滤波器并利用替代准直的另一个特点。分析控制技术提供了一种有效的方法来分析，可视化，并在曝光过程中控制两到四个不同的波长光谱。KARL SUSS/MICROTEC MJB3还具有自动的人脸检测和晶圆旋转，使得x-y-z平面的对准精度。此外，MJB3利用减少气体屏蔽系统，以低成本制造更小、更密集的微结构。最后,它提供了一个用户友好的CIM软件界面,用于有效地设置和慢跑标线掩码。总之，MJB-3是一个先进的蒙版对齐器提供所有必要的特征，以产生高精度的图样到光刻。