二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293685973 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一种用于制造薄膜微电子电路的高精度掩模对准器。适用于从接触面膜到高分辨率薄膜图样在基板上的应用。MICROTEC MJB3精密对准器设计用于在存在高频电磁辐射场的情况下对齐掩模,例如在MIL-STD-882、自动模式传输系统中使用的掩模。KARL SUSS MJB 3配备了电磁辐射屏蔽与腔室、电磁对准设备、精密运动控制系统、X-Y-Z运动级以及真空光学对准单元。电磁辐射屏蔽室采用先进的材料技术实现，其配置允许对强辐射场进行屏蔽。电磁对准机使用电磁场将掩模与基板对齐。该工具还包括一个自动调节机构，以确保将蒙面膜精确地放置在高精度的基板上。精密的运动控制资产确保了掩模和基板的准确定位。其组件包括比例积分-导数（PID）伺服环、精密的可编程数字信号处理处理器和高速状态机控制器。X、Y和Z运动阶段用于以精细控制的方式移动掩模、基板和光学器件,以确保对掩模和基板进行匹配配准以实现精确对准。KARL SUSS/MICROTEC MJB3的真空光学对准模型利用激光衍射光谱（LDS）和反射照明检测基板和掩模配准点之间的近乎微观的位置亲和力。LDS设备以光学测量为基础，精度高，速度快。反射照明填补了标准相机和LDS系统之间的空白，提供高分辨率成像和在子像素级别检测特征。MICROTEC MJB3精密对准器设计用于洁净室环境中，在采取预防措施并按照所提供的指示使用该装置时，可以最安全地操作。KARL SUSS MJB3掩模对准器是一种用于制造薄膜微电子电路的可靠、精确的机器。