二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293705835 待售
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KARL SUSS/MICROTEC MJB-3 Mask Aligner是一种可靠、精确的半导体生产线光刻工具。它能够对准和曝光具有高光学和机械精度的掩模，确保一致和可重复的结果与零对准可重复性。MICROTEC MJB3是一种半自主设备，包含多个用户界面，使实时控制和操作变得容易。它支持直径最大为150 mm的晶片（或6英寸晶片），并且兼容一系列的掩模框架和多个标线尺寸，包括内置堆栈的标线架。KARL SUSS MJB3有三个主要组件-照明、光学系统和基板处理单元。其照明机设计能够产生均匀而高效的遮罩照明，以减少曝光噪音和不一致，从而使遮罩在晶圆上快速而简单的对准。它采用了多场投影工具，提高了曝光的分辨率和准确性。照明光学器件从光源和遮罩框架转移到基板级，然后辐射通过遮罩投射到基板上。MJB3的光学系统提供高精度和可靠性。它装有电机控制的变焦、对准和标线座光学资产，便于定位、对准和掩模到晶片的配准，以取得一致和可重复的结果。其先进的光谱能力也使得能够准确地测定发光通量的特性，例如其强度和光谱组成。KARL SUSS MJB-3的基板处理模型具有一个能够旋转和位移的扁平基板表,它允许各种晶圆大小和类型。它可以接受矩形和圆形基板，使其适应生产过程的需要。平板还保证了涂层性能的一致性和容易的基板载荷.KARL SUSS/MICROTEC MJB 3还有五个真空头，可以精确控制和操纵掩模对准设备，以及自动晶片装卸。由于其先进的光学和机械设计,MJB3 Mask Aligner是高效可靠生产半导体的最佳系统之一。高分辨率和准确性使其成为光刻应用的可靠且经济高效的解决方桉。
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