二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293713185 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3 Mask Aligner是一种精确可靠的光刻设备,用于直接光刻处理,例如微电子电路和薄膜沉积的制造。MICROTEC MJB3系统具有可编程坐标、摄像头反馈和开放式体系结构可访问性等特点,便于调整和操作。其五轴定位单元保证了卓越的对准稳定性和精度，可以设定为绝对精度0.5 µm。对准器配备了一个715 x 715 mm的大曝光级，以及一个协助平移的5米长的轨道和一个高精度的标线夹。此外,KARL SUSS MJB3还展示了符合人体工程学的设计,为用户提供了方便的操作和舒适性。机器由RoboticVision软件提供动力,当用于关键的对齐和迭加任务时,该软件可确保一致的性能和准确性。MJB-3非常适合许多应用,例如晶片级封装、模具连接、薄膜加工和MEMS制造过程。它可以容纳各种各样的基材，范围从晶片到柔性基材，并且可以与所有抗蚀剂一起使用，包括正负抗蚀剂配方。这种多功能性使得它对于集成到多步骤系统中非常有吸引力。对于曝光，MICROTEC MJB 3可与一系列光源结合使用，包括准分子和远紫外线曝光源。位于仪器前部的曝光块高度可定制,具有滑动曝光臂,可手动对准和控制短曝光和长曝光时间。为用户方便起见，操作软件包括高级分析工具，如自动对准校准和自动曝光模式选择。此外，操作员可以通过一个强大的用户界面或通过内部网监视和控制该工具。这项资产是任何希望可靠、准确地制造微电子器件的人的绝佳选择。它的大舞台、高精度和可编程控制，使其成为现代掩模对准器应用的最先进的选择。