二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293743798 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3面膜对准器是一种精密的光机机械，设计用于光刻加工。它主要被微电子和半导体工业用来制造亚微分解像器件和电路。MICROTEC MJB3利用连续波激光源以及投影和成像设备将图样从硬光掩模传输到晶圆表面基板。该系统配备了两个祭祀级，提供了一个稳定、水平的定位单元，用于对面膜和基板进行仔细的对准。这种对准得到了高度精确、自动化的X-Y光栅扫描机和具有实时反馈和1.3纳米分辨率的Z轴深度控制的帮助。KARL SUSS MJB 3有一个数值光圈（NA）为0.55的照明镜头，能够照亮2"或4"或6"或8"甚至10"的口罩，这取决于配置。此外,MICROTEC MJB-3经过设计和设计,可提供可靠的操作和高分辨率的可重复性,并且只需最短的设置时间。它配有可调真空夹具，为晶片提供可调支撑。MJB-3还使用直线和边缘补偿器精确对准边缘轮廓。这个补偿器由一组距离元件和一个驱动单元组成，可以进行精细的岸上控制。在安全控制方面，KARL SUSS MJB3配备了两个自锁机构。第一种是电磁互锁，在打开腔室和自动对焦板时阻止工具操作。二是防止未经授权人员操作资产的钥匙操作联锁。MJB3是一种强大而精确的光刻加工工具。其模块化设计和精确控制模型使其成为一种高效可靠的设备，即使具有挑战性的口罩和基板也能获得快速、准确的结果。此外，它的自互锁机制确保了安全可靠的操作，以及一个可靠的精密光刻平台。