二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293751564 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一款具有广泛功能的最先进的掩模对齐器。该单元是一个全自动掩码对齐器，与其他掩码对齐器相比具有许多优点。MICROTEC MJB3配备了一个用于精确对准掩模图样的电子宏聚焦设备，以及一个用于亚微米分辨率的激光光学系统。该单元还有一个内置的微焦点适配器，允许在微观层面精确对准。此外，KARL SUSS MJB 3有一个全自动晶片对准单元，它允许对多层图样的多个掩码进行精确的配准，以及晶片上的图样高度精确的对准。这台自动化机器具有较大的扫描面积，并包含高精度、机动化的级，用于精确对准，而不会在晶圆上覆盖任何操作员。此外，KARL SUSS MJB-3配备了具有多种功能选项的数字界面，并具有独特、用户友好的图形界面。它还能够进行一系列的光刻操作，如曝光、曝光后烘烤和溶剂干燥。此外,MJB3还可以通过一系列可选功能进行定制,例如旋转涂层附件、更高分辨率的成像源和多层对准工具。因此，MJB-3是许多应用的理想掩模对齐器，特别是精细对齐的多层微电子元件的小规模加工。