二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293751566 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是半导体工业中用于光掩模生成和晶圆曝光过程的一种全自动蒙版对齐器。其主要功能是在晶圆表面上精确定位和对齐一个光掩模（包含图样），用于曝光过程。它旨在提供快速、可重复的掩模对准操作,并具有出色的定位精度。MICROTEC MJB3具有两个独立的线性阶段。这些X级和Y级均采用直接驱动电动机驱动,可提供非常精确、高分辨率（精确度高达1微米）和可重复对准能力。它还具有激光，用于测量掩模与晶圆的对准度到亚微米精度。掩模和晶片可以在X和Y线性级上独立精确地移动。此外，KARL SUSS MJB3还利用晶圆处理程序和掩模处理程序控制，使光学器件易于处理。两者都有独特的对准系统，其中掩模处理器有有助于确保掩模图样对准精度的镜头，晶圆处理器有自己独立的定心系统。它还配备了视觉系统，帮助定位和操纵晶片和掩模。KARL SUSS/MICROTEC MJB3掩码对齐器包括可编程逻辑控制器（PLC），可以方便曝光程序的自动化和处理。它还具有一个流程监视器,可轻松访问曝光参数和数据。它还允许存储多个掩码和晶圆位置,以及曝光参数。KARL SUSS/MICROTEC MJB3可靠易用，其可重复的掩模对准和准确性使其成为光掩模生成和晶圆曝光过程的首选工具。它能够处理各种类型的光掩模，其组件可以定制以适应不同的晶圆曝光应用。其坚固的设计确保其符合最高质量标准,使其成为任何光掩模生成或晶圆曝光过程的理想掩模对准器。