二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293766399 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一种用于光刻工艺的高精度掩模对准器，用于制造微电子和光电器件。MICROTEC MJB3为精密光掩模与基板的对齐提供了高度的准确性和可重复性。这样可以将具有完美精度的图桉化层转移到基板上。KARL SUSS MJB 3由一个光学模块、一个精密机械对准模块和一个阶段控制模块组成，全部组合在一个通用平台中。光学模块包含一个无穷大校正的Koehler型照明器，它产生一个平行的光束照明锥体。光成像系统由光束分裂、折射成像和电动放大元件组成。分束元件将图像字段分成四个子字段,这些子字段聚焦在光学模块的左右透镜元件上,以便于同时对准多个光掩模。精密机械对准模块配备了机动化元件，可以对口罩进行极其精确和可重复的定位。系统使用线性编码器和扫描头引导掩模框架沿X和Y轴的移动以进行对齐。它还具有用于高精度位置感测的交叉偏振分束器和用于正确定位口罩的行程长度传感器。阶段控制模块由三个阶段元素组成。两个主要阶段提供了对光掩模的精确扫描，而可调节阶段则提供了X和Y轴上掩模的精确运动。主要阶段包括用于X和Y扫描轴的两台精密定位电动机和用于样品快速可靠旋转的旋转轴。可调级具有线性编码器，用于测量标线位移。MICROTEC MJB3包括实时成像、集成软件和各种兼容配件。系统还具有对所有模块和组件进行诊断检查的自检功能。所有这些特性使KARL SUSS MJB3成为一款高性能、多用途的掩模对准器,具有出色的稳定性和准确性。